UHP 極細ステンレス毛細管

内径の500倍の長さまで、内面を均一に

φ0.2mmの内径に対して、長さ100mm ── 内径の500倍という縦横比を持つ管の内面全域に、薬液を均一に作用させることが、従来の浸漬処理では困難とされてきた点です。内径が細くなるほど、管内の薬液の入れ替わりと反応の均一性を保つことは難しくなります。

この条件を量産で再現するための設備は、市販されていません。当社が専用の加工装置を独自に開発した理由が、ここにあります。

実測データ

化学研磨前後の内面粗さ比較（内径0.2mm・レーザー顕微鏡測定）。

測定方法	レーザー顕微鏡による測定
評価長さ	46.29µm（研磨後）
測定値（研磨後）	Ra 0.17µm ／ Rz 0.57µm ／ RzJIS 0.45µm
測定値（研磨前）	Ra 0.45µm ／ Rz 2.34µm ／ RzJIS 1.18µm
測定条件	内径0.2mm・SUS316L サンプル２本にて測定

よくあるご質問

図面で Ra 0.1µm 以下が指定されています。対応できますか。

極細内径（φ0.2mm級）では、化学研磨で Ra 0.1µm を下回ることは困難です。内径の大きい部品であれば、母材や前処理条件により対応できる場合があります。

あわせて、Ra値のみでの方式選定はお勧めしていません。Raは表面の「形状」を平均化した指標であり、同じRa値でも、表面の化学的状態（清浄度・耐食性）は加工方式により大きく異なります。詳しくは技術記事をご覧ください。

磁気研磨（機械研磨）と比べて、どちらが適していますか。

Raの絶対値のみが要求される用途では、磁気研磨のほうが適する場合があります。当社の化学研磨が有効なのは、耐食性・清浄度が問われる用途、および砥粒や電極が物理的に届かない形状（極細内径・ベローズ等）です。

Cr/Fe比は、どの母材でも向上しますか。

向上はしますが、到達値は母材品質に依存し、母材が持つ上限を超えることはできません。半導体グレードの高純度材と一般材では、到達しうる数値に差が生じます。詳しくは「品質数値と母材について」をご覧ください。

研磨後の内径は、指定できますか。

できます。化学研磨では内面がわずかに溶解するため、当社では仕上がり内径から溶解量を逆算し、素管の内径を選定して対応します。仕上がり内径の精度は ±0.01mm程度が目安です（素管の寸法公差にも依存します）。より厳しい公差が必要な場合は、個別にご相談ください。

検査成績書は添付されますか。

表面化学品質（Cr/Fe比・不動態皮膜）については、自社測定値ではなく、SEMI規格に準拠した第三者機関（米国 RJ Lee Group 等）による測定データを採用する方針のため、標準では検査成績書を添付しておりません。ご要望に応じて、第三者機関への測定手配を承ります。

最小ロット・納期を教えてください。

仕様・数量に応じてご相談ください。お問い合わせの際に内径・長さ・数量をお知らせいただければ、目安をご回答します。

ステンレス以外の材質にも対応できますか。

チタン・銅材にも対応可能な場合があります。主力はステンレス（SUS316L）です。図面をお送りいただければ、加工可否をご回答します。