FAQ
よくある質問
お客様から実際にいただいたご質問をもとにまとめています。ここにないご質問は、お気軽にお問い合わせください。
Q. 電解研磨（EP）級の仕上げですか？
A. 当社が用いるのは電解研磨（EP）ではなく、化学研磨（CP）です。両者は「等級」の違いではなく、工法そのものが異なります。φ0.2mmの極細内径や波纹管（ベローズ）の内面は、電極を挿入できないため、電解研磨では物理的に処理できません。こうした形状に対しては、薬液を作用させる化学研磨が実用上の選択肢となります。表面の平滑化に加え、Cr/Fe比の向上など表面化学組成の改善が得られる点も、化学研磨の特長です。
Q. 第三者機関による検測データはありますか？
A. あります。当社の化学研磨プロセスは、SEMI規格に準拠した米国 RJ LEE Group による表面化学分析（Cr/Fe比・酸化膜厚さ等）の測定実績があります（※別製品・別材料での参考データ）。表面化学分析を正確に行える機関は世界的にも限られており、当社は第三者機関の測定データを基準としています。現在の毛細管製品についても、今後 RJ LEE Group 等での測定を予定しています。
Q. 内面粗さ（Ra）はどのくらいですか？
A. 現行の毛細管製品（内径0.2mm・SUS316L）で、Ra 0.17µm（レーザー顕微鏡による実測）です。なお、Raは機械研磨でも一定の値まで到達できる指標であり、内面品質のすべてを表すものではありません。流量計・センサー・半導体流路においては、Cr/Fe比・清浄度・残留応力の有無といった「表面の化学的状態」が、部品の寿命と性能を左右します。用途に応じて、本当に必要な内面品質からご相談いただくことをお勧めします。
Q. Ra 0.05µm 以下の仕上げは可能ですか？
A. 化学研磨における実用的な下限は、Ra 0.1µm 前後です。ただし、Ra 0.05µm以下が本当に必要なケースは限られます。多くの流量計・センサー・半導体流路用途では、Raの絶対値よりも、Cr/Fe比・清浄度・無応力といった内面の化学的品質が性能を左右します。「Raをどこまで下げられるか」ではなく、「その用途に必要な内面品質は何か」からご相談いただければ、最適な仕様をご提案します。
Q. Cr/Fe比・酸化膜は SEMI 基準に準拠していますか？
A. 当社の化学研磨プロセスは、SEMI規格に準拠した第三者測定において、Cr/Fe比の向上・富铬酸化膜の形成を確認した実績があります（※別製品・別材料での参考データ）。ここで重要な点として、表面化学品質の最終数値は、化学研磨プロセスと母材品質の両方に依存します。化学研磨は表面状態を大きく改善しますが、母材が持つ上限を超えることはできません。そのため当社では、自社供給材による製品は仕様数値をお約束し、お客様支給材の受託加工についてはプロセスによる改善を保証したうえで、最終数値は母材に応じてご相談する形をとっています。
Q. 寸法公差はどの程度対応できますか？
A. 内径・外径の公差は、母材の仕様と加工条件により異なります。流量計・センサー用途では内径公差が計測精度に直結するため、図面をお送りいただければ、対応可否と実現可能な公差範囲を回答いたします。まずはご相談ください。
Q. 最小ロット・納期はどのくらいですか？
A. 仕様（内径・長さ・仕上げグレード）と数量により異なるため、個別にお見積りしています。当社の化学研磨は独自開発の専用装置による量産に対応しており、大ロットの安定供給が可能です。試作から量産まで、数量規模に応じてご相談ください。
Q. 支給材料での加工は可能ですか？
A. 可能です。お客様支給の材料に対する内面化学研磨（受託加工）を承っています。この場合、化学研磨プロセスによる内面品質の改善を保証しますが、Cr/Fe比などの最終数値は母材品質に依存するため、母材に応じてご相談させていただきます。波纹管（ベローズ）など、機械研磨・電解研磨では対応が難しい形状もご相談ください。
ここにないご質問は、お気軽に
加工可否のご判断、仕様のご相談など、図面を添えてお問い合わせください。いただいたご質問は、本ページにも随時追加していきます。